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微电子厂房暖通空调设计方案对比探讨

上传时间:2017-07-27 浏览量:46
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全部作者:罗丽萍 

文献出处:信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司 年份:2017

论文摘要:
本文阐述了微电子厂房空调设计中几种不同方案的比较,分析了洁净室的净化空调设计原理及空气处理过程,介绍了几种空调方案的优缺点,并进行了投资费用和运行费用的说明。通过分析比较不同的空调设计方案,才能在实际设计过程中设计一个满足生产工艺要求、造价合理、经济节能的设计方案。

关键词:微电子厂房 洁净室 新风空调机组 风机过滤单元机组(FFU) 

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